半导体行业专用仪?/p>
CHLY001
国产半导体行业专用仪?/p>
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设备型号
CHLY001
功能特点
高精度视觉检测系统,能够快速准确的定位并识别晶锭内部掺杂区域质量,采用先进的图像处理算法,可提供清晰的检测图像和详细的检测报告、/span>
应用场景
在SiC衬底片制造加工过程中,来料检测至关重要,视觉检测设备能精准检测各种尺寸、不用品质的晶片,高效剔除不合格品,保障生产流程稳定、高效运行、/span>
产品参数
项目 |
参数 |
检测范図/span> |
6-inch/8-inch |
上下行程 |
0-80mm |
重复定位精度 |
0.001mm |
运动部件 |
上料直线电机9/span>300mm/s |
设备尺寸(W*D*H) |
680mm×680mm×700mm |
设备质量 |
?/span>80KG |
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