纯度９/p>-
目数９/p>-
碳化硅粉
4HSiC
国产碳化硅粉
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产品参数
| 参数名称 | P?/span> | R?/span> | D?/span> |
| 晶型 | 4H | ||
| 晶向 | ?lt;11-20> 偏转4º± 0.5º | ||
| 主参考面长度 | 32.5±2.0mm | ||
| 次参考面长度 | 18.0±2.0mm | ||
| 电阻玆/strong> | 0.015~0.025ohm·cm | ||
| 直径 | 100 ± 0.25 mm | ||
| 厚度 | 350±25μm（可定制（/span> | ||
| LTV | 2μm | 5μm | ?μm |
| TTV | 3μm | 5μm | 10μm |
| Bow | -15 μm - 15 μm | -25 μm - 25 μm | -45 μm - 45 μm |
| Warp | 20μm | 35μm | 55μm |
| 微管 | 0.2ea/cm2 | 0.5ea/cm2 | 1ea/cm2 |
| TSD | 500ea/cm2 | 1000ea/cm2 | __ |
| BPD | 1500ea/cm2 | 3000ea/cm2 | __ |
| 崩边/裂纹/六方空洞 | 旟/span> | ||
| 多晶面积 | 旟/span> | __ | |
| 表面粗糙?/strong> | Ra?.2nm(正面) Ra?nm(背面) | ||
| 边缘处理 | 倒角 | ||
| 划伤 | 累计长度小于半径 | 累计长度小于直径 | __ |
| 颗粒?/strong> | ?0 (size 0.3μm) | __ | |
| 标记 | 激光编?/span> | ||
| 包装 | 单片/多片包装 | ||
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