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江阴晶沐光电新材料有限公号/div>
首页 > 产品中心 > 其它无机材料 > 蓝宝石基氮化镓外廵/div>
产品简今/div>
产品规格?/span>
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蓝宝石基氮化镓外延衬底Tempalte?~8inch（/strong> |
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衬底直径 |
50.8mm |
100mm |
150mm |
200mm |
蓝宝石衬底厚?/p> |
430μm |
650μm |
1000μm |
1600μm |
蓝宝石衬底表靡/p> |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
FSS/PSS/NPSS |
蓝宝石衬底晶吐/p> |
C-Plane |
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外延导电类型 |
N-type |
P-type |
UID |
|
外延掺杂元素 |
Si-doping |
Mg-doping |
Undoped |
|
外延层厚?/p> |
厚膜?~5 μm ；薄膜：0.1~1 μm |
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外延层厚度均匀?/p> |
?% |
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外延层表面状?/p> |
RMS?nm |
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外延结构国/p> |
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