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产品详情
碳化硅陶瓷载盗/div>
碳化硅陶瓷载盘的图片
参考报价:
面议
品牌9/dt>
晶沐光电
关注度:
358
样本9/dt>
暂无
型号9/dt>
碳化硅陶瓷载
产地9/dt>
江苏
信息完整度:
典型用户9/dt>
暂无
产品简今/div>

碳化硅陶瓷载盗/strong>

厚度

0.75mm

直径

156mm

气孔徃/p>

? μm

双面平面?/p>

?5 μm

TTV

? μm,5点量浊/p>

平行?/p>

?5 μm

翘曲度要汁/p>

90? 250 宏观目视不翘曲变彡/p>

密度

1.8~2.4 g/cm3

气孔玆/p>

30%-50%

抗折强度

?5 Mpa

热膨胀系数

7.5 ?0-6/℃)

透气性要汁/p>

空吸:真空度 -30 Kpa
放置Wafer SIC载盘上:真空 ?60 Kpa

外观

1.全周去毛边,锐角倒钝
2.无缺觑br/>3.刮伤:W?.03mm&L?mm,N?


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