碳化硅陶瓷载盗/strong> |
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厚度 |
0.75mm |
直径 |
156mm |
气孔徃/p> |
? μm |
双面平面?/p> |
?5 μm |
TTV |
? μm,5点量浊/p> |
平行?/p> |
?5 μm |
翘曲度要汁/p> |
90? 250 宏观目视不翘曲变彡/p> |
密度 |
1.8~2.4 g/cm3 |
气孔玆/p> |
30%-50% |
抗折强度 |
?5 Mpa |
热膨胀系数 |
7.5 ?0-6/℃) |
透气性要汁/p> |
空吸:真空度 -30 Kpa |
外观 |
1.全周去毛边,锐角倒钝 |