设备主要特点

� 串级控温系统，恒温区高精�?/p>

� 具有高抗干扰能力

� 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置

★支持SECS/GEM通讯

主要技术参�?/p>

� 可配工艺管数野�1~4�?�?/p>

� 工作温度范围:200℃~800ℂ�/p>

� 恒温区长�?300~11000mm

� 单点温度稳定�?±1�?24h

� **可控升温速度:15�?min;

� **降温速度:3�?min