主要特点

◆产胼�2200~2880pcs/箠�/p>

◆管�?6箠�/p>

◆压力控刵�APC控制方式

◆系统控刵�PLC和PC工控朹�/p>

◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II筈�/p>

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇�/p>

工艺规范

◆方阻倻�50~350 Ω/cmsq

◆极限真穹��?0mbar

◆方阻均匀�?<5%(片内/片间/批间)