主要特点

◆产胼�>25000pcs/h;4800~5280pcs/�?105*210mm)

◆管�?6箠�/p>

◆压力控刵�APC控制方式

◆系统控刵�PLC和PC工控朹�/p>

◆通讯:Melsec,MES.I/O,SECS-II筈�/p>

◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方桇�/p>

工艺规范

◆方阻倻�30~60Ω/cmsq

◆极限真穹��?0mbar

◆方阻均匀�?<5%(片内/片间/批间)

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数野�6个温匹�/p>

�?*温度:950ℂ�/p>

◆温度均匀�?800℃~950℃�?.5ℂ�/p>

◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨

◆桨�?*承重野�100kg

◆工艺腔和舟的材�?石英�?amp;碳化硅舟托独立磷源柜，便于更换源瓵�/p>

优点

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆使用SiC桨使加载区稳定，SiC舟托使用寿命更长

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使�?/p>