闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺性能优异、�/p>

控制系统特点

� 软着陆装置采用伺服控�?性能平稳可靠、定位准确、承重量大、�/p>

� 管内压力采用闭环控制,压强稳定、�/p>

� 工艺废气冷却回收，保证工艺管道清洁、�/p>

� 高精度温度控制技术，系统可自动拉温区、�/p>

★支持SECS/GEM通讯

主要技术指栆�/p>

Key technical parameters

� 工作温度:600�?1286ℂ�/p>

� 恒温区长�?300~1500mm

� 温区精度:±0.5ℂ�/p>

� **可控升温速率:15�?min

� **可控降温速率:5�?min

� 装片数量:400片管(特大产能)

晶圆工艺指标

� 片内均匀�?<2%

� 片间均匀�? <2%� 批间均匀�? <2%

� 2管�?管�?管分别可逈�自动装载机械手可选、�/p>

★设备产能、性能、工艺指标优于同类进口设夆�/p>