超大规模集成电路制造设备，工艺时间短，生产效率高，具有出色的工艺性能达到**、�/p>

应用领域

� VLSI集成电路制速�/p>

产品优势

◎晶�?�?批次)150牆�/p>

� 晶片高速搬送系统，实现高吞吐量

� 精密的热场控制，气体控制系统

� 工艺周期短，生产效率髗�/p>

外形尺寸及重野�/p>

� 外形尺寸(参�?:4330mm*900mm*3305 mm(�?�?�?

� 重量:2500Kg