此在线CL系统是监控MBE生长过程的理想选择、�/span>

CL可以放置在独立的观察窗位置、�/span>

通过RHEED枪以及敏感的光学探测系统，CL可以实时提供材料组分的准确信息，并进行实时光学分析、�/span>

部件�?''的前后移动容域度，避免与其他部件相互干扰、�/span>

CL通过电子激发技术调节电子能量，可以检测较深的薄膜表面信息、�/span>

与其配套皃�span>Windows软件操作系统，可以实现操作自动化及图谱分析、�/span>

特点

一个端口可以同时监测薄膜成分和光学分析

掺杂水平信息

部件可前后移动，使部件间相互干扰*小化

全电脑控制及分析

光谱范围	200-900nm
分辨玆�/span>	0.5nm
探测器量子效玆�/span>	25%
探测器输凹�/span>	10V/nW
噪音等效	<250V
观察窗口	2.75''CF
外部尺寸	9.0''X25.5''X10.1'' (22cm��65cm��26cm)
腔室内尺�	1.25''��13.1'' (3.2cm��34cm)
行程距离	**8''(20.3cm)
靶距禺�/span>	2''(5.1cm)
电脑要求	Windows 9X�?000，XP