反射高能电子衍射仪是MBE制程的一部分。在薄膜沉积过程中，RHEED给客户提供了重要的信息、�/span>

首先＋�/span>RHEED图像表征样品表面的状态、�/span>

其次，其强度震荡可以提供生长速率的量化数据、�/span>

RHEED提供了清晰的焦点，以及衍射图样，并能够在屏幕上高亮度显示、�/span>

电子光学部件有磁性保护罩，便于提高操作性、�/span>

可选部件：RHEED图像分析硬件和软件系统，可以实时获取RHEED图样，使用户便于观察和控制薄膜生长质量。完整的RHEED系统包括10KeV RHEED电子束源，电源及配套光缆、�/span>

技术参数：

束流电压	10KV
灯丝电流	3A
发射电流	5A
光斑大小	1.0mm (17’�?1075px距离)
**烘烤温度	230oC

RHEED Electron Source

2.75"�?" 法兰

RHEED Power Supply

RHEED Image Analysis Software

高分辨CCD 或相朹�/p>

实时分析

2D/3D分析

RHEED Optional Components

主要特点９�/span>

实时检测外延生镾�/span>

测量薄膜生长速率

单晶薄膜的生中速率测量

光学部件带有磁性罩