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美国SVTA公司中国办事夃/b>
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SVT公司的线性束流监控仪采用B-A离子规,用于在超高真空下测量束流。灯丝可以放在源的前面,用以获取准确的数据来校准及监控工艺生长过程、/span>
仪器长度可以客户定制,保证离子规有足够的前后移动容域度,避免生长过程中各部件相互影响、/span>LBFM系列是高精度MBE应用的理想选择、/span>
◎/span>B-A离子觃/span>
◎/span>可放置于UHV环境?/span>
◎/span>烘烤温度200oC
◎/span>2.75’‘/span>戕/span>4.5’ CF接口法兰
◎/span>离子规隔离阀可逈/span>
束流电压 |
10KV |
灯丝电流 |
3A |
发射电流 |
5A |
光学路径范围 |
41/2’’CF |
光斑大小 |
1.0mm (17’?1075px距离) |
**烘烤温度 |
230oC |
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