生长操作器和制备�?/span>UHV兼容。尺寸包�?/span>1’‘�/span>�?/span>8’‘�/span>。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境、�/span>

◎�/span>磁耦合旋转

◎�/span>旋转精度髗�/span>

◎�/span>氧环境下兼容可逈�/span>

◎�/span>氨环境下兼容可逈�/span>

◎�/span>衬底加热温度可达1�?00^oC

X-Y方向移动

精度0.001

重复�?.001

反冲0

移动行程+/-0.5’‘�/span>

Z方向移动

精度1mm 戕�/span>¹/₃₂比例

重复�?mm 戕�/span>¹/₃₂比例

反冲0

行程4.0’‘�/span>

水平旋转

精度1.25^o

反冲<1^o

持续360^o旋转