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美国SVTA公司中国办事夃/b>
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美国SVT公司CIGS铜铟镓硒系统
35-V-100是薄膜沉积精密设备，是适用?英寸衬底的CIGS研发型设夆/span>
SVTA-CIGS-30是生产型系统
还可提供各种大容量生产型的S/Se源，包括点源?00CC-2000CC）和线性源?000CC（/span>
*多可?个样?/span>
可靠地高温衬底加热器
多重泵抽组合包含Se trap
关于衬底操作还可以添加集群腔室，便于以后升级
*多容?0个源
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