美国SVT公司ALD原子层沉积系绞�/strong>

�?990年来薄膜淀积设�?*制造商、�/p>

拥有独立的室内实验室用于材料研究和工艺开发、�/p>

提供广泛的服务，包括淀积设备、淀积部件、集成传感器以及工艺控制

设备制造和工艺技术的高度结合，为客户提供可靠的技术服加�/p>

实验�?台应用淀积设备生长出***的材斘�/p>

多条设备生产线几乎覆盖了整个薄膜淀积设备市圹�/p>

在薄膜淀积领域拥有超�?20台设备的**供应商、�/p>

NorthStar ALD系统介绍９�/strong>

NorthStar ALD原子层沉积系统提供各种淀积方法，包括热淀积以及能量增强淀积、�/p>

每台设备可以提供多达8个先驱源管路以及一个热壁淀积腔，使其应用范围极为广泛、�/p>

设备的快速舱口盖或装载室（可选件）使样品操作快捷方便、�/p>

NorthStar ALD系统不但能跟其他设备连接起来，还能连接多种测量仪器、�/p>

原位测量工具以及RoboALD软件自动化系统提高了工艺的再现性、�/p>

可以直接升级至超高真穹�/p>

提供工艺演示以及工艺培训服务

为潜在客户提供免费样品测试、�/p>

应用领域９�/strong>

High-K电介�?/p>

纳米涂层

MEMS

光子晶体

扩散阻挡屁�/p>

器件封装

表面改性层

技术参数：

为科研客户量身打�?**的原子层沉积系统、�/p>

提供4"�?"�?"�?2"等多种尺寸的样品平台、�/p>

针对客户的需求，提供多种输气设计、�/p>

---可控真空�? 1 Torr to UHV

---气道加热

---气体快速进凹�/p>

---样品尺寸: 4in standard� optional 12in

---基底加热: up to 300 ℃， optional higher temp

主要特点９�/strong>

*安全的设计，多样化的配置，全方位的测试手段、�/p>

精确的控制手段打�?*的成膜质量。强大的科研团队铸就**的科技实力、�/p>

---气体离子匕�/p>

---臭氧输送装�?/p>

---石英振荡�?/p>

---四重质量分光讠�/p>

---实时温度显示

---椭偏�?/p>

---进样�