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SVT HL系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度，以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆、/span>
SVT CL系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏源。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大、/span>
SVT HT系列蒸发源用于沉积低蒸汽压材料。源的温度可辽/span>2?00oC。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大。源在运往客户前都经过全面检测和标征。对亍/span>4.5’‘/span>或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板可选、/span>
SVT也提供可用于UHV氨环境下的冷口源。此源在坩埚口带有冷却水。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大、/span>
对于4.5’‘/span>或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板可选、/span>
叶/span> |
法兰尺寸 |
坩埚容量（CC（/span> |
SVTA-SF-16-275 |
2.75’‘/span> |
16 |
SVTA-SF-16-450 |
4.5’‘/span> |
16 |
SVTA-SF-20-275 |
2.75’‘/span> |
20 |
SVTA-SF-20-450 |
4.5’‘/span> |
20 |
SVTA-SF-22-275 |
2.75’‘/span> |
22 |
SVTA-SF-22-450 |
4.5’‘/span> |
22 |
SVTA-SF-40-275 |
2.75’‘/span> |
40 |
SVTA-SF-40-450 |
4.5’‘/span> |
40 |
SVTA-SF-60-450 |
4.5’‘/span> |
60 |
SVTA-SF-80-450 |
4.5’‘/span> |
80 |
温度范围 |
0oC-1?00oC |
功率 |
600W?KW |
温度稳定?/span> |
+/-0.1oC |
温度重复?/span> |
+/-0.1oC |
热偶 |
C?D型可逈/span>) |
坩埚容量 |
*16cc?0cc?2cc?0cc＋/span> 50cc?0cc?5cc＋/span> (16cc?2cc锥形壁坩埚均一性更髗/span>) |
标准长度 |
*12’?762.5px) |
法兰接口 |
2.75’’或4.5’’OD-CF |
电接插件 |
灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亙/span>微型 |
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