◎�/span>SVTSMART＇�/span>Scientific Materials and Applied Research Tool）脉冲激光沉积系统具�?***的优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料、�/span>

◎�/span>配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长、�/span>

◎�/span>可与准分子激光和Yag激光相连、�/span>

◎�/span>在线监控仪器做为可选件，为客户提供高质量的工艺信息反馈、�/span>

◎�/span>装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连、�/span>

应用

◎�/span>多元素复合氧化物

◎�/span>高温超导材料

◎�/span>磁性材料、金属材斘�/span>

◎�/span>低蒸汽压材料

◎�/span>MEMS

基本系统

腔室及真空泵

12’�快速门＋�/span>250l/s分子泵，全量程规

沉积溏�/span>

靶台＋�/span>6X1’�?25mm)靶，可以水平旋转＋�/span>

�?/span>Z方向移动

样品�?/span>

1’�?25mm)大小，可加热臲�/span>800^oC＇�/span>1000^oC可选），可水平旋转，可Z方向移动

在线工艺监控

石英晶振沉积速率监控�?/span>

自动匕�/span>

自动化装置：

控制样品温度和旋�?/span>

靶台的位置控刵�/span>

靶台旋转

气体控制

速率及厚度计算（利用QCM输出（�/span>

激光束扫描（可选）

激光束屏蔽控制

自动泵抽和充氓�/span>

差分泵抽结构

RHEED分析（可选）

装载室压强监控（可选）

主要特点

RF射频等离子源(氧，�?

升级高真穹�/p>

增加进样宣�/p>

升级为Laser-MBE （L-MBE）系绞�/p>

自动软件控制

提供更洁净的薄膜生长环境，**的温度控制解决方�?