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美国SVTA公司中国办事夃/b>
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SVT公司的气体入射源是为气体源分子束外延＇/span>GSMBE）设计的、/span>
SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氢和磷化氢以进行高质量皃/span>III-V材料生长、/span>
源采用单灯丝加热，双气体管炉提高气体裂解的效率、/span>
它还采用一系列光阑?aperture plates)满足客户对裂解性能的要求、/span>
热裂解区由高?/span>PBN材料和钽材料制作的。其?*温度下也可提供超高纯环境、/span>
完整的气体入射源系统还包括具有较大压力的气体传输系统、/span>
为提高束流分布均一性，可定制源长度、/span>
典型应用
用于III-V材料系统
具有很高的气体裂解能劚/span>
先进的气体操作系绞/span>
温度150oC-1?00oC
MFC/自动束流控制
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