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原子氢源采用电子束加热原理，产生的温度可高达2?00oC。氢气进入原子氢源，然后被裂解成原子H。由于其不会产生离子形态的氢，所以消除了损伤衬底表面的可能性，因此是用于衬底表面清洁的**工具、/span>
紧凑SVTA-H1-1的接口是2.75’‘/span>＇/span>70mm（/span>CF法兰。另外还可以配转换法兰，使其适用于任佔/span>MBE设备。建议电源使?/span>SVTA-H1-PS。此电源系统包括3个独立电源：高压电源用于提供偏压；高电流电源用于灯丝加热；控制器连接其他电源，用于控制输出发射电流，此外，此电源还可以为测量和显示束流供电、/span>
电源 |
300W |
发射电流 |
100mA |
温度 |
2?73K |
灯丝电流 |
15A |
管材斘/span> |
W Mo |
电接插件 |
灯丝：Amphenol环形灯丝 高压：SHV |
法兰 |
2.75’?70mm) 4.50’?114mm)CF |
真空室内长度 |
12’ (或客户定? |
可逈/span> |
水冷却罩 |
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