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SVT 热蒸发源种类繁多,覆盖了绝大多数材料。包括CsI,S,Se等各种材斘/span>
SVT生产MBE设备已有超过20年的经验,其蒸发源具有很高的稳定性和可控性、/span>
源可以制造成各种形状、尺寸并具有**温度范围、/span>
SVT可以为您提供*合适的源,用于太阳能电池领域或OLED领域、/span>
每一个热源都是超纯材料制造的,避免污染真空生长室、/span>
源在运到客户之前都经过全面的检测和标征、/span>
SVT热源具有太阳能电池工艺及OLED工艺所需要的大容量、可控、稳定等特点、/span>
特点
稳定性高
容量?/span>
温度范围广,适于生长各种材料
用高纯材料制作,消除污染的可能?/span>
各种坩埚形状,适于客户所需的各?*束流形状
叶/span> |
* 図/span> |
寷/span> |
SVTA-DF-双灯丝热溏/span> |
600oC-1?00oC |
85cc?50cc?00cc 1?00cc |
SVTA-LTDF-低温双灯丝热溏/span> |
400oC-1?00oC |
85cc?50cc?00cc 1?00cc |
SVTA-VViking热源(Ga、In(/span> |
800oC-1?00oC |
60cc?0cc?50cc?00cc |
SVTA-EXCEL-Excel热源(有机材料) |
100oC-600oC |
85cc?50cc?00cc 1?00cc |
源温度稳定 |
+/- 0.1oC |
温度重复?/span> |
+/- 0.1oC |
接口法兰 |
60cc?0cc?5cc?.5’?DN63) CF 法兰 150cc?00cc?.0’?DN100) CF 法兰 1?00cc?.0’?DN150) CF 法兰 |
真空室内长度 |
12’?10’?14’’可客户定制) |
真空室内直径 |
60cc: 2.135’ (54mm) 80cc: 2.100’ (53mm)85cc: 2.290’ (58mm) 150cc: 2.630’ (67mm) 500cc: 3.540’ (90mm) 1?00cc: 5.500’ (140mm) |
热偶类型 |
<1?00oC**:K垊/span> >1?00oC**:C垊/span> |
电接插件 |
灯丝:Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亙/span>微型 |
烘烤温度 |
200oC |
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