AccuTemp(In-Situ 4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长、�/span>

用于MBE�?/span>MOCVD以及CIGS等系统中、�/span>

AccuTemp提供实时、准确的工艺信息，包括衬底温度、薄膜厚度、生长速率、�/span>

该仪器放置在一个观察窗上、�/span>

采用双色红外高温测量仪测量温度，该测量仪对观察窗口的附着物不敏感，还可以校准误差、�/span>

另一部件辐射仪，用来补偿发射率的变化，纠正高温测量仪的温度测量值、�/span>

Bandgap模块可选，它可以监控很低的衬底温度，还可以进行高温测量仪的简单校准。两个独立的光学反射信号用于分析并实时提供厚度、生长速率及折射系数、�/span>

典型应用

AccuTemp典型应用亍�/span>GaN＋�/span>GaAs＋�/span>ZnO＋�/span>CIGS＋�/span>Si＋�/span>ZnTe＋�/span>SiC＋�/span>MCT以及STO、�/span>

AccuTemp既可用于研究型设备也可用于生产型设备、�/span>

Bandgap模块可以佾�/span>IS4K测量低于高温计范围的材料温度，例如在生长GaAs�?/span>GaSb叉�/span>Si材料时可以使用、�/span>

特点

◎�/span>一个窗口就可以同时、实时测量温度和厚度

◎�/span>采用双波长用于穿过窗口涂层，进行透明度补偾�/span>

◎�/span>采用发射率补偿，提供真实温度

◎�/span>闭环控制

◎�/span>Bandgap模块用于低温测量和校凅�/span>

高温仪温度范図�/span>	450oC- 1�?00oC
Bandgap模块	室温 - 700oC
衬底材料	Si� GaAs� InP� 蓝宝石，STO，Gasb，MCT�
辐射仪波镾�/span>	950�?50nm
噪声等效温差	<0.5oC
反射仪波�	950�?70nm
噪音等效厚度�?/span>	<1nm @ film>100nm
靶距离范図�/span>	>7mm��
测量斑点大小	1KW-5KW
观察窖�/span>	2.75''CF(4.5''CF如果带边)
尺寸	100��140��130mm
对正方法	视频监控�?/span>
计算机要汁�/span>	Windows XP＋�/span> 序列端口界面