CBr₄是很好的III-V材料皃�/span>p型掺杂源。在使用MBE技术生镾�/span>p型掺杂外延材料中具有很多用途、�/span>

SVT公司CBr₄模块适用于任佔�/span>MBE，具有安全、操作简单等特点、�/span>CBr₄通过一个压力控制系统被输送到腔室。此压力控制系统可以控制蒸汽压流量。气体控制面板可以精确控刵�/span>CBr₄气体的流量、�/span>

特点

◎�/span>适用于任佔�/span>MBE

◎�/span>高性能的气体入射源

◎�/span>先进的气体操作系绞�/span>

◎�/span>安全，操作简協�/span>

部件

气体入射溏�/span>

◎�/span>带有加热器的入射源（长度可客户定制）

◎�/span>温度控制器（可放在电子控制柜中）

◎�/span>双接头气体管�?/span>

气体操作系统

◎�/span>外部手动可调阀�?/span>

◎�/span>热漏阀和控制器

◎�/span>冷阴极真空规以及控制�?/span>

可逈�/span>

◎�/span>气动阀�?/span>

◎�/span>气动阀门控制器

◎�/span>气路烘烤装置